Advanced Energy 推出适用于工艺反应腔室清洗系统的MAXstream远程等离子体源产品系列

北京，中国 - Media OutReach - 二零二零年十二月十八日 - Advanced Energy Industries, Inc.  (Nasdaq: AEIS) 一直致力于开发各种先进的高精度电源转换、测量和控制系统等解决方案，这方面的技术更一直领先全球。该公司宣布推出一系列全新的 MAXstream^TM 远程等离子体源 (RPS) 产品，其特点是适用于半导体芯片工艺的反应腔室等离子清洗系统。MAXstream系列产品有多个不同型号，操作范围非常宽广，其他优点包括电源准确度较高、优于同级产品的等离子喷射引燃能力、以及更高的稳定性，因此这是市场上最理想的远程等离子体源解决方案。

Advanced Energy 半导体产品副总裁兼总经理 Peter Gillespie 表示：「我们的客户曾向我们表示市场上欠缺一款高性能而又稳定可靠的RPS产品，希望 Advanced Energy 能够进军这个市场，满足业者的需求。我们顺应时势，实现他们的梦想。这系列全新的MAXstream产品不但为客户的工艺设备提供一个极具成本效益而又稳定可靠的RPS解决方案，而且还让 Advanced Energy 因应市场趋势，加快进军这个近年少有创新技术出现但年销售额约值1.5亿美元的RPS市场 ¹。至今为止，这系列产品在市场上很受欢迎，对我们来说这是一个很大的鼓舞。我们在今个月内会继续交货予多个OEM客户，预计会继续取得亮丽的成绩。」

MAXstream远比竞争对手的RPS解决方案优胜，因为这款新产品的双等离子体源引燃核心采用完善的设计，确保等离子引燃时保持优于同级竞争产品的稳定性。由于每次分开出击的引燃非常稳定可靠，令整个操作能保持其稳定性，减少坏机情况出现。MAXstream也充分利用 Advanced Energy 使用多年并证实有效的分离等离子体源物料和相关技术，确保可延长工艺反应腔室的寿命周期以及减少由此而产生的微粒。

Advanced Energy 的MAXstream RPS 产品可以轻易插入现有的RPS系统之中，以确保可与现有系统无缝衔接，方便换代更新。客户只要取出一向表现不太理想RPS，改用MAXstream便可提高工艺设备的生产力、性能和稳定性。他们也可获得 Advanced Energy 提供优于竞争对手的全球服务和支持。Advanced Energy 在世界各地设有十多间服务中心，为各地客户提供现场服务和应用技术支持。

MAXstream产品系列共有MAXstream 300、600、800、1000和1200等多个不同型号，每分钟的气体流量分别为3、6、8、10和12公升(liter)，让客户可以按照自己的工艺，选用一款价格符合预算而又能充分发挥系统性能的型号。MAXstream 300 适用于较低流量的工艺 (用于清洗的气体每分钟流量高达3公升)，外型则比高流量的型号更为小巧。